公开/公告号CN101049596B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 RTS股份有限公司;
申请/专利号CN200710090449.1
发明设计人 成庆;
申请日2007-04-06
分类号B07C5/34(20060101);B07C5/02(20060101);G01R31/01(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人章社杲;吴贵明
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 09:06:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B07C 5/34 授权公告日:20110209 终止日期:20150406 申请日:20070406
专利权的终止
2011-02-09
授权
授权
2007-12-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-10
公开
公开
机译: 具有完成检测的混合单轨和双轨组合逻辑的设备和方法
机译: 成膜设备,检测设备,检测方法,以及电子器件的制造方法
机译: 电路板检测系统、电子器件制造设备、基板检测方法、电子器件制造方法