在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备

摘要

在扫描电镜中检测真空微电子器件的一种新设备胡问国（云南大学物理系）Ａ．Ｐ．Ｄｌｏｋｉｎｇ．Ｓ．Ｉ．Ｚａｉｚｈｅｖ，Ｅ．Ｉ．Ｒａｕ，Ｎ．Ｇ．ＵｓａｋｏＶ（俄罗斯科学院）关键词：新设备，分层体现图像，场发射尖锥，真空微电子器件。众所周知，用扫描电镜只能对...