公开/公告号CN1950922B
专利类型发明专利
公开/公告日2010-11-10
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200580013581.1
申请日2005-10-12
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:05:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-02-15
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01J 37/34 变更前: 变更后: 申请日:20051012
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2010-11-10
授权
授权
2008-04-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-04-18
公开
公开
机译: 利用通过工件施加的源功率和偏置功率频率进行金属等离子体气相沉积和再溅射的设备和方法
机译: 利用通过工件施加的源功率和偏置功率频率进行金属等离子体气相沉积和再溅射的设备和方法
机译: 金属等离子汽相沉积和重新溅射的设备,通过工件施加源和偏置功率频率