首页> 中文期刊>国外核聚变与等离子体应用 >用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼…

用等离子体化学汽相沉积技术在金刚石上形成立方氮化硼…

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

来源
《国外核聚变与等离子体应用》|1992年第2期|57-60|共4页
作者
Okamo.M; 李光志;
展开▼
作者单位

不详;

不详;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
氮化硼; 薄膜; 沉积; 等离子体应用;
入库时间 2023-07-26 01:41:21

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 室温下金刚石薄膜上沉积立方氮化硼薄膜的研究 [J] . 冯健 ,徐闰 ,汤敏燕 . 人工晶体学报 . 2009,第5期
2. JB/T 7425-2012《超硬磨料制品金刚石或立方氮化硼磨具技术条件》行业标准修订 [J] . 吕申峰 ,郭凤英 ,朱嘉 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2013,第006期
3. 金刚石和立方氮化硼超硬磨料表面处理技术应用及发展 [J] . 王艳辉 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2009,第001期
4. 聚晶金刚石、立方氮化硼放电切割与表面光整加工技术和设备研究 [J] . . 机电产品开发与创新 . 1998,第002期
5. 提高聚晶立方氮化硼和聚晶金刚石合成工艺的技术措施 [J] . 屠厚泽 . 探矿工程 . 1997,第005期
6. 金刚石与立方氮化硼超硬合金的合成与表征 [C] . 王培 ,WANG Pei ,HE Duanwei . 第六届郑州国际超硬材料及制品研讨会暨庆祝中国人造金刚石诞生50周年大会 . 2013
7. 等离子体增强化学气相沉积法制备立方氮化硼薄膜过程中的应力形成与释放机理 [A] . 陈爱丽 . 2012

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号