一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺及设备

摘要

一种中大口径非球面光学元件的高效数控抛光工艺及设备，属于光学精密机械技术领域，其抛光工艺是：根据干涉仪等光学表面面形检测仪器测得的面形数据，构成抛光加工过程的模型，在计算机的控制下，按实际加工元件的技术要求确定路径、速度和压力等参数，进行仿真加工，验证选择的工艺参数，当仿真结果与实际要求的抛光表面相一致时确定最终的工艺参数，然后生成NC程序，进行加工；有益效果是：相比同加工阶段的手工加工方法，加工过程减少了对人员经验的依赖，效率提高3倍以上，加工精度达到国际先进水平。