一种真空吸附式三坐标柔性调姿单元

摘要

本发明公开了一种真空吸附式三坐标柔性调姿单元。具有底座、X向滚珠丝杠、X向减速器、X向伺服电机、纵横拖板、上拖板、支撑缸体、伸缩柱、夹紧套筒、真空吸附球头、Z向滚珠丝杠、Z向光栅尺、蜗轮蜗杆减速器、Y向导轨滑块、Y向直线导轨、X向风琴罩、X向直线导轨、X向导轨滑块、Y向滚珠丝杠、Y向风琴罩、Z向伺服电机、Y向减速器、Y向伺服电机；通过伺服、滚珠丝杠驱动与光栅尺反馈进行闭环控制，实现X、Y、Z三个方向的精确定位，并在相应方向上设有风琴罩进行保护。本发明通过真空吸附支撑并固持具有复杂型面的部件，支撑稳定可靠，三个方向可以实现协同运动控制，作为核心单元，通过一定的配置可构成具有不同用途的调姿系统。