微细磁性元件的化学沉积及电化学沉积制造方法和系统

摘要

一种微细磁性元件的化学沉积及电化学沉积制造方法和系统，属化学沉积和电铸加工领域。本发明方法及系统的关键之处在于：在现有的微细化学复合沉积或电化学复合沉积制造方法及系统基础上，在掩膜板后方施加了一块外加磁铁，促进了电解液中的强磁性粒子向掩膜板的运动，并且运动到掩膜板表面的强磁性粒子由于磁力的吸引作用很难再脱离掩膜板表面，这样提高了强磁性粒子在复合沉积层中的含量，扩大了复合沉积层的磁能积，提高了微型磁性元件的磁力矩。在输出相同磁力矩的情况下，显著缩小了磁性元件的尺寸，拓展了微型磁性元件的应用范围。