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电化学沉积设备在集成电路制造中的应用及发展现状

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摘要

根据集成电路发展的趋势,分析了电化学沉积设备在集成电路行业的应用.通过及国外各主流设备的特点及国内设备的现状阐述,指出了国内在电化学沉积设备及技术方面,与国外水平存在巨大的差距.

著录项

来源
《电子工业专用设备》|2016年第11期|4-6,25|共4页
作者
刘永进;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类有机半导体;
关键词
电化学沉积; 集成电路; 应用;
入库时间 2022-08-18 02:49:22

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