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常压化学气相沉积法制备的硅化钛纳米线簇及其制备方法

摘要

本发明公开了一种常压化学气相沉积法制备的硅化钛纳米线簇及其制备方法。在单根纳米线的一端头部平行生长着多根纳米线构成纳米线簇。该方法采用常压化学气相沉积法,以SiH

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-18

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B82B 1/00 授权公告日:20100512 终止日期:20130424 申请日:20060424

    专利权的终止

  • 2010-05-12

    授权

    授权

  • 2007-01-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-12-06

    公开

    公开

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