法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-08-31
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1999-10-27
授权
授权
1997-07-16
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1995-12-27
公开
公开
机译: 用碘化钠或碘化铯制备生长晶体的原料的方法
机译: 在非晶和多晶衬底上薄膜cSi的低温异质外延生长方法以及在非晶,多晶和晶体衬底上的c-Si器件的低温异质外延生长方法
机译: 通过蒸气压控制的切克劳斯基工艺生长单晶半导体化合物/晶体棒的装置,可在不使用B2O3的情况下控制晶体棒直径,从而提供稳定且可再现的晶体生长