法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-05-19
授权
授权
2008-06-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-16
公开
公开
机译: 空间光调制器照明光学系统曝光装置的检查装置调整照明光学系统照明方法的曝光方法和装置制造方法
机译: 照明光学系统,投射/曝光装置,微型装置制造方法,照明装置制造方法,投射/曝光装置调整方法和投射/曝光装置制造方法
机译: 照明光学系统,投射曝光装置,微型装置的制造方法,照明装置的制造方法,投射曝光装置的调整方法,以及投射曝光装置的制造方法