用于光刻装置的掩模对准标记及对准方法

摘要

本发明公开了一种掩模对准标记及对准方法。该掩模对准标记的部分结构与其它部分不一致，通常较长，能够提高标记分支进行对准扫描的捕获能力，提高粗扫描的成功率，能够提高对准扫描生成的对准信息的对比度，也提高对准处理过程中所采用信息的信噪比，从而提高掩模对准的精度。通过径向粗精扫描和切向旋转粗精扫描相结合生成莫尔条纹信息的方法，提高对准扫描的效率；通过相互垂直的两个方向上进行沿近似垂直于所用对准标记分支中光栅方向的粗精扫描相结合生成莫尔条纹信息的方法，提高对准扫描的效率。