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真空沉积方法和真空沉积用密封型蒸发源设备

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摘要

提供一种真空沉积方法。在使升华蒸发材料(22)蒸发的真空沉积中，气密型加热容器(11)具有喷射开口(14)和具有用来自其内表面的辐射热使所述蒸发材料蒸发的区域。支架(15)将蒸发材料保持在由于从加热容器(11)传递的热量没有使蒸发材料蒸发的区域中。从而，所产生的蒸气从喷射开口(14)喷射至该容器外的沉积对象表面上。

著录项

公开/公告号CN100557068C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-11-04

原文格式PDF
申请/专利权人双叶电子工业株式会社;
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申请/专利号CN200580009356.0
发明设计人高木俊宣;中村宏毅;渡辺宽;福田辰男;
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申请日2005-01-21
分类号C23C14/24(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人封新琴;巫肖南
地址日本千叶县
入库时间 2022-08-23 09:03:35

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-03-27

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 授权公告日:20091104 终止日期:20120121 申请日:20050121

专利权的终止
2013-03-27

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 授权公告日:20091104 终止日期:20120121 申请日:20050121

专利权的终止
2009-11-04

授权

授权
2009-11-04

授权

授权
2007-09-05

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 变更前:

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-09-05

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移登记生效日:20070803 变更前: 变更后: 申请日:20050121

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-09-05

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移登记生效日:20070803 变更前:

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-09-05

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更前: 变更后: 登记生效日:20070803 申请日:20050121

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移
2007-06-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-06-06

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-04-11

公开

公开
2007-04-11

公开

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