磁过滤阴极真空弧沉积装置研究中的等效电路方法

摘要

提出了模拟磁过滤阴极真空弧放电等离子体沉积装置阴极弧放电过程的等效电路 ,并用此电路定性研究了各参数对弧放电的影响 。