公开/公告号CN113846376B
专利类型发明专利
公开/公告日2022.12.27
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申请/专利权人 浙江晶盛机电股份有限公司;浙江求是半导体设备有限公司;
申请/专利号CN202111113173.0
申请日2021.09.23
分类号C30B25/16;C30B25/10;C30B25/08;C30B23/06;C30B23/02;
代理机构杭州华进联浙知识产权代理有限公司;
代理人方道杰
地址 312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
入库时间 2023-01-09 21:32:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-27
授权
发明专利权授予
机译: 异质外延晶体生长方法,异质外延晶体生长装置,异质外延晶体生长装置和半导体器件
机译: 外延生长感受器,外延生长装置和使用其的外延生长方法
机译: 外延生长装置,外延晶片的生产方法,以及外延生长装置的提升销