公开/公告号US11208718B2
专利类型
公开/公告日2021-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 SUMCO CORPORATION;
申请/专利号US201615574624
发明设计人 MASAYA SAKURAI;
申请日2016-04-25
分类号C23C16/24;C30B25/12;C30B29/06;H01L21/687;C30B25/08;C23C16/458;H01L21/02;H01L21/205;
国家 US
入库时间 2022-08-24 23:04:37