一种谐振式微悬臂梁自激振荡自检测传感器

摘要

一种谐振式微悬臂梁自激振荡自检测传感器，属于微机电系统悬臂梁传感器技术领域，其特征在于，含有一个由选频网络、滤波放大电路、相位补偿电路及驱动电路依次串联构成的一闭环电路，该选频网络由含有压电驱动结构的微悬臂梁、补偿电路、第一运算放大电路、第一反馈电路和第二反馈电路构成，该悬臂梁结构的下电极与第一运算放大电路的负输入端相连，而上电极经补偿电路连接到第一运算放大电路的正输入端。微悬臂梁在压电效应作用下谐振，当外部环境的物理量或化学量发生变化时其谐振频率的偏移量经反馈放大后由选频网络输出。本发明把激励结构和检测结构合为一体，提高了稳定性，成品率，并降低了成本。