CMOS图像传感器中的光电二极管的制造方法

摘要

提供一种CMOS图像传感器，其中在蓝光电二极管区中形成P-型杂质包含层并通过扩散形成P-型扩散区，使得结深度减小且蓝光被有效地接收以改善图像质量。一种制造CMOS图像传感器的方法，包括：在光电二极管区中的第一传导类型半导体基片上形成第二传导类型扩散区；在光电二极管区中的第二传导类型扩散区上形成第一传导类型杂质包含区；以及通过将第一传导类型杂质包含区中的杂质扩散到第二传导类型扩散区中而形成第一传导类型扩散区。