扫描系统中坐标点的精确取值方法及其取值装置

摘要

本发明涉及扫描系统中坐标点的精确取值方法，扫描系统中包含带有精确坐标小孔的模版，取值方法包括：指令步骤，用于指示扫描仪依时序发出X轴等间隔为ΔX的扫描范围比小孔直径大的一束激光扫描线；接收步骤，由设在所述小孔正下方的光敏接收管根据经过小孔上方的激光扫描线而发出相应的脉冲；记录步骤，用于记录第一条或最后一条扫描线脉冲所对应的X轴坐标值X0或Xn；计数步骤，用于计算收到的X轴总脉冲数；计算步骤，用于根据公式而计算小孔中心的精确X轴，所述公式为X＝X0(Xn)±ΔX*X轴总脉冲数/2，同理可测Y轴坐标。本发明还涉及相应的取值装置。该取值方法和取值装置能够精确测量扫描系统中工件的坐标点，简单易行，分辨率高且精确度高。