具有集成透镜的垂直腔表面发射激光器

摘要

本发明提供了一种具有集成透镜的垂直腔表面发射激光器和制造工艺。晶片级器件制造工艺形成围绕多个VCSEL的发射区域的凸立结构。凸立结构可以被成形以保持球透镜或者其他用于各自的VCSEL的光学元件，或者可以包括在其上形成光学元件的平台。在芯片级或者晶片级工艺中被附接到凸立结构上的球透镜配合到凸立结构中，并被自动对准。光学元件的晶片级制造可以以与光刻工艺相关的精确度对准光学元件。可以使用模塑或者复制工艺、印刷方法或者在通过光刻形成的区域的回流过程中的表面张力，形成光学元件。