表面特性测量仪的平直度校正方法以及表面特性测量仪

摘要

一种表面特性测量仪及平直度校正方法，为进行测量而旋转检测器时测量仪能根据检测器转角位置作校正操作。方法包括校正数据存储步骤，将相应于对应于粗糙度检测器设定于不同转角位置的转角位置的X轴驱动单元的移动位置的检测器校正数据存储到校正数据存储部；测量数据获取步骤，测量时获取在粗糙度检测器由旋转单元设定于对应于被测物体测量面的任何转角位置的状态下和在探测针接触被测物体测量表面的状态下驱动X轴驱动单元时作为测量数据的X轴驱动单元的移动位置和粗糙度检测器的移动量；校正计算步骤，从校正数据存储部读取与测量时粗糙度检测器转角位置一致或接近的检测器校正数据，利用所得检测器校正数据校正测量数据。