公开/公告号CN100532639C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN200510109632.2
申请日2001-02-14
分类号C23C16/455(20060101);H01L21/31(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人陈昕
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:03:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 授权公告日:20090826 终止日期:20130214 申请日:20010214
专利权的终止
2009-08-26
授权
授权
2006-10-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-08-23
公开
公开
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