透明导电膜、透明导电膜制造用烧结体靶、透明导电性基材以及使用其的显示装置

摘要

本发明提供一种非晶质、且在可见光短波长区的光透射率高、对弯曲不易破裂的透明导电膜。本发明的透明导电膜为由Ga、In和O构成的非晶质氧化物膜，相对全部金属原子含有35原子%以上、45原子%以下的Ga，比电阻为1.2×10