公开/公告号CN111220739B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-08-02
原文格式PDF
申请/专利权人 福建中烟工业有限责任公司;厦门烟草工业有限责任公司;
申请/专利号CN202010191269.8
申请日2020-03-18
分类号G01N30/06(2006.01);G01N30/88(2006.01);
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038;中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038;
代理人杜仙;崔锡强
地址 361012 福建省厦门市思明区莲岳路118号中烟工业大厦
入库时间 2022-09-06 00:38:11
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置
机译: 氧化物半导体薄膜,在氧化物半导体薄膜的表面具有保护膜的层叠体的品质评价方法以及氧化物半导体薄膜的品质控制方法