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公开/公告号CN112578146B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-29
原文格式PDF
申请/专利权人 北京航天控制仪器研究所;
申请/专利号CN202011449418.2
发明设计人 刘国文;马智康;李兆涵;刘宇;赵亭杰;刘福民;杨静;
申请日2020-12-09
分类号G01P15/125(2006.01);G01P15/08(2006.01);G01P15/18(2013.01);
代理机构中国航天科技专利中心 11009;
代理人张晓飞
地址 100854 北京市海淀区北京142信箱403分箱
入库时间 2022-09-06 00:38:11
机译: 高灵敏度的z轴微机电检测结构,特别是用于MEMS加速度计的结构
机译: 高灵敏度,Z轴微机电检测结构,尤其适用于MEMS加速度计
机译: 具有高精度和低灵敏度的MEMS加速度计
机译:新的电容式低重力三轴加速度计,交叉轴灵敏度低
机译:平面外双挠性MEMS压阻式加速度计,具有低交叉轴灵敏度
机译:商用过程中具有零交叉轴灵敏度的三轴电容式低重力MEMS加速度计的设计
机译:横向电容式MEMS加速度计灵敏度校准算法的开发与表征
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:MEMS电容式加速度计:基于分析挤压膜阻尼和机械热弹性方法的动态灵敏度分析
机译:绝缘体上硅(sOI)微电子机械系统(mEms)陀螺仪传感器作为双轴加速度计的操作。