面外轴向检测MEMS加速度计研究现状

摘要

面外轴向检测微机电系统(MEMS)加速度计(Z轴MEMS加速度计)是MEMS惯性系统中用于提供面外加速度信号的重要器件。首先介绍了Z轴加速度计的两种典型结构,列举了国内外科研机构近年来的研究成果,概述了其在结构设计、工艺制造等方面的特点,以及在性能指标、三轴单片集成等方面的进展。最后,结合Z轴MEMS加速度计的研究现状,对其在结构优化、性能提升、工艺制造、单片三轴集成等方向的发展进行了展望。