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公开/公告号CN107949807B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201680026716.6
发明设计人 W·米厄尔;
申请日2016-05-13
分类号G03F1/44;G03F7/20;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人张世俊
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 13:47:02
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