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包括具有微结构表面的弹性传感器层的压力传感器

摘要

本发明公开了一种包括传感层(12、14)的压力传感器,传感层由弹性电阻材料制成且涂覆于未显示的聚合物薄膜上。(22)代表用粘接剂涂布的分隔体。一个传感层(14)配备有微结构表面,该微结构表面在有效区(16)内包含球形结构(20)。在结构膨胀R为50微米处压缩路径量达10微米。结构(20)与某些表面粗糙度相比是大的。本发明的压力传感器通过注射成型、蚀刻、压纹、或通过电子束技术或激光束技术的方法生产。所公开的是其诸变体,它们的运转各不相同。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-02-15

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/20 授权公告日:20090722 终止日期:20151223 申请日:20031223

    专利权的终止

  • 2009-07-22

    授权

    授权

  • 2006-04-12

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-02-15

    公开

    公开

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