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对单晶化学气相沉积金刚石进行退火

摘要

一种通过使CVD金刚石升高到在金刚石稳定相之外的至少1500℃的设定温度和至少4.0GPa的压力来改进CVD金刚石光学透明度的方法,在这里该CVD金刚石是单晶CVD金刚石。

著录项

  • 公开/公告号CN100519831C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-07-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华盛顿卡内基研究所;

    申请/专利号CN200480020153.7

  • 发明设计人 R·J·赫姆利;H-K·毛;志学颜;

    申请日2004-07-14

  • 分类号C23C16/26(20060101);C30B23/00(20060101);

  • 代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;

  • 代理人沙捷

  • 地址 美国华盛顿

  • 入库时间 2022-08-23 09:02:34

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-07-29

    授权

    授权

  • 2006-12-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-10-25

    公开

    公开

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