公开/公告号CN100519831C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-07-29
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申请/专利权人 华盛顿卡内基研究所;
申请/专利号CN200480020153.7
申请日2004-07-14
分类号C23C16/26(20060101);C30B23/00(20060101);
代理机构11245 北京纪凯知识产权代理有限公司;
代理人沙捷
地址 美国华盛顿
入库时间 2022-08-23 09:02:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-07-29
授权
授权
2006-12-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-10-25
公开
公开
机译: 单晶化学气相沉积金刚石的退火。
机译: 退火单晶化学气相沉积金刚石
机译: 低压/高温退火处理增强化学气相沉积单晶金刚石的光学性能