一种在LTCC基板高平整表面上高精密微细线条的制作方法

摘要

本发明涉及一种在LTCC基板高平整表面上高精密微细线条的制作方法，包括以下过程：步骤1、将烧结后的多层LTCC电路基板表面磨平；步骤2、在磨平后的基板表面上制作导体图形；步骤3、对导体图形进行精密修饰，获得高精度微细线条；步骤4、对精密修饰后的基板进行后处理，消除高精度微细线条的边缘熔渣。采用本发明中的方法制作LTCC表面高精度微细线条，能够获得较高的表面平整度，导体图形布置灵活，线条细度小，精度高，边缘平滑，对材料体系有较强的兼容性，所需设备及工艺均较为成熟。