高マイクロ波誘電特性を持つインディアライト結晶化ガラスの応用： LTCC 及びダイレクトキャスティングガラスセラミックス基板

摘要

はじめに：インディアライト結晶化ガラスのマイクロ波誘電特性は，低誘電率4.7，高品質係数Qf > 200,000 GHz であり，ミリ波誘電体として期待されている1)．インディアライトはコーディエライトの多形であり， 誘電特性がコーディエライトのそれより高いことが明らかになり，その合成を検討した．インディアライト の安定領域は分解溶融点近傍にあるため，固相反応法での合成は難しく，ガラスの結晶化で合成した．材料 の合成は，丸ス釉薬（資）で行い，デバイスへの応用はオウル大学で行った．LTCC への応用は，高純度の インディアライト結晶化ガラス粉を作製し，焼結助剤を用いて低温焼結条件を決め，LTCC のための積層基 板を試作した2)．また，コーディエライト組成ガラスブロックの結晶化過程で発生するクラックをTiO2 添加 で克服できたので，ガラスセラミックス基板を作製し、特性評価した．