公开/公告号CN100487909C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中山大学;
申请/专利号CN200710027353.0
申请日2007-03-30
分类号H01L29/38(20060101);H01L29/06(20060101);H01L29/26(20060101);H01L21/04(20060101);C23C14/56(20060101);C23C14/54(20060101);C23C14/34(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人裘晖;杨晓松
地址 510275 广东省广州市新港西路135号
入库时间 2022-08-23 09:02:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-19
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 29/38 授权公告日:20090513 终止日期:20180330 申请日:20070330
专利权的终止
2009-05-13
授权
授权
2009-05-13
授权
授权
2007-10-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-31
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-09-05
公开
公开
2007-09-05
公开
公开
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