减小CMOS图像传感器暗电流的表面钝化

摘要

公开了一种减小光电二极管中暗电流的方法。光电二极管包括形成在P型衬底上的N阱。这种方法包括用氮掺杂剂掺杂所说N阱的表面。此外，也可以用氧或硅掺杂剂。此外，可以在N阱上形成硅氮氧化物层。