公开/公告号CN111926385B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司;
申请/专利号CN202010664355.6
申请日2020-07-10
分类号C30B23/02(20060101);C30B29/36(20060101);
代理机构11716 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王振南
地址 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
入库时间 2022-08-23 13:10:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
授权
发明专利权授予
机译: 碳化硅单晶,碳化硅单晶锭,碳化硅单晶基体,碳化硅表皮和薄膜表皮的生产方法
机译: 用于表观碳化硅晶片的碳化硅单晶衬底的生产方法,以及用于表观碳化硅晶片的碳化硅单晶衬底的生产方法
机译: 用于生产碳化硅单晶的坩埚,碳化硅单晶的生产装置以及碳化硅单晶的生产方法