PVT法碳化硅单晶炉内矢势分布计算

摘要

从麦克斯韦方程组出发,采用有限元方法,计算交变电流激励下碳化硅感应加热炉中磁场矢势分布。主要研究了加热线圈位置和磁场矢势梯度,加热频率和磁场矢势径向分布关系。计算结果为进一步得到生长系统内的温度分布提供了基础数据,对生长工艺过程中线圈位置、感应加热炉组件RF频率的选择具有非常重要参考价值。