公开/公告号CN108613669B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州文智芯微系统技术有限公司;
申请/专利号CN201810675224.0
申请日2018-06-27
分类号G01C19/5684(20120101);
代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人范晴;丁浩秋
地址 215000 江苏省苏州市高新区科创路18号
入库时间 2022-08-23 13:09:33
机译: 用于吸收噪音的谐振器液压离合器系统具有盘状腔室,该盘状腔室定义了相对于流体流动方向旋转对称的共振区域
机译: 高质量因子MEMS硅铰链和用于振动陀螺的槽切割谐振器
机译: 高质量因子MEMS硅铰链和用于振动陀螺的槽切口谐振器