电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极包括空隙层、第一电极和第二电极，在谐振器的厚度方向上所述空隙层形成在第一电极与第二电极之间，第一电极与压电层形成面接触；且所述空隙层内设置有至少一个支撑突起，所述支撑突起的高度与所述空隙层的厚度相同，支撑突起具有与第二电极相接的支撑面。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。