具有环形-圆形电极的薄膜体声波滤波器（英文）

摘要

目的:研发一种新型氧化锌薄膜体声波滤波器,建模进行理论分析,并给出设计工具。创新点:提出一种氧化锌薄膜体声波滤波器的新结构。方法:用Tiersten-Stevens方程进行理论分析与计算;方程及其求解和计算简单易行。结论:具有环形-圆形电极的氧化锌薄膜可以作为体声波滤波器。圆形和环形电极具有简单和易加工等优点,并且工作模态的振动分布与材料的对称性高度一致,避免了矩形电极角点引起的电场集中等缺点。该滤波器的最优工作状态需要通过精密设计实现,本文提供了理论和计算设计工具。