纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究

摘要

设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器（SCFBAF），并在ANSYS11．0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究，实验结果表明，该SCFBAF工作在682．64MHz时带宽约为280kHz，1781．36MHz时约为320kHz，能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器，该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点，将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。