一种超快激光直写配合激光抛光制备中阶梯光栅的方法

摘要

本发明公开了一种超快激光直写配合激光抛光制备中阶梯光栅的方法，涉及激光加工领域，包括通过超快激光直写制备中阶梯光栅，使用超快激光对中阶梯光栅表面进行抛光；其中，中阶梯光栅包括数个依次连接的三角形槽。利用超快激光加工精度高、热影响区小的优点，在材料表面直写中阶梯光栅粗胚，光栅粗胚槽表面质量差，而超快激光抛光技术能够对中阶梯表面质量进行改善，降低表面粗糙度，提高中阶梯光栅的质量。