极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法

摘要

提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅反射的聚焦光斑成像在CCD上.当聚焦透镜的光轴和工件台的转动轴存在对准误差时,如果转动光栅,激光光斑将在光栅上扫描出一个圆形轨迹.通过观测这个轨迹,能估算出光轴和转轴的对准误差并相应地做出调整减小对准误差.采用光栅反射法,现将光轴和转轴的对准误差减少到小于0.5μm.