一种基于超谐同步技术的硅微谐振式倍频器

摘要

本发明公开了一种基于超谐同步技术的硅微谐振式倍频器，谐振模块为呈长距形形状的谐振梁，由两个固支模块形成两端固定支撑，谐振梁下端悬空设置于单晶硅基底；谐振梁一侧中部位置设置有激励模块，另一侧中部位置对应设置有检测模块，激励模块和检测模块均固定于单晶硅基底上，激励模块与信号输入模块连接，检测模块与振荡模块连接，谐振梁的两端分别与压阻调频模块连接产生电势差谐振梁本体，通过焦耳热效应调节振荡器振荡频率，实现不同阶数的超谐同步现象。本发明可实现超高阶数的倍频放大，突破了现有倍频器倍频次数的极限。