III族氮化物材料半导体结构中的寄生沟道减轻

摘要

本文中总体上描述了III族氮化物材料，包括包含III族氮化物材料区域和含硅衬底的材料结构。某些实施例涉及氮化镓材料和包括氮化镓材料区域和含硅衬底的材料结构。