公开/公告号CN100474495C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 艾克塞利斯技术公司;
申请/专利号CN02814121.0
申请日2002-07-12
分类号H01J37/32(20060101);H01L21/311(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人肖春京
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:02:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-26
专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 变更前: 变更后: 登记生效日:20141028 申请日:20020712
专利申请权、专利权的转移
2009-04-01
授权
授权
2005-02-09
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-12-08
公开
公开
机译: 等离子体处理中实现微射流,低能离子产生和传输的方法和装置
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