微波等离子体处理装置及其处理方法

摘要

本发明的微波等离子体处理装置包括用介质构件将其周边与外界空气隔离开的等离子体发生室、利用设置在等离子体发生室周围并设有多个槽的无端环形波导管的微波引入装置等，其特征在于无端环形波导管的圆周长度Lg，无端环形波导管中微波的波长λg，介质构件的圆周长度Ls和在介质材料中传导的表面波波长λs大体满足关系式：Ls／λs=（2n＋1）Lg／λg，其中n为0或自然数。