机译:Nd:YAG激光产生的微滴锡等离子体中的辐射输运和光学深度定标
Adv Res Ctr Nanolithog Sci Pk 106 NL-1098 XG Amsterdam Netherlands;
Adv Res Ctr Nanolithog Sci Pk 106 NL-1098 XG Amsterdam Netherlands|Vrije Univ Dept Phys & Astron De Boelelaan 1081 NL-1081 HV Amsterdam Netherlands|Vrije Univ LaserLaB De Boelelaan 1081 NL-1081 HV Amsterdam Netherlands;
Univ Twente MESA Inst Nanotechnol Ind Focus Grp XUV Opt Drienerlolaan 5 NL-7522 NB Enschede Netherlands;
ASML US LP 17075 Thornmint Ct San Diego CA 92127 USA;
Adv Res Ctr Nanolithog Sci Pk 106 NL-1098 XG Amsterdam Netherlands|Univ Groningen Zernike Inst Adv Mat Nijenborgh 4 NL-9747 AG Groningen Netherlands;
机译:CO_2和Nd:YAG激光产生的锡等离子体的极紫外辐射发射特性的比较研究
机译:使用红外Nd:YAG和ArF *激光烧蚀电感耦合等离子体光学发射和质谱法对Zn基涂层进行深度分析的可行性
机译:光学厚的转向器等离子体中辐射输运的混合公式
机译:具有固体锡靶的极端紫外线辐射发射特性的直接比较紫外线:YAG激光产生的等离子体
机译:小规模激光产生的锡等离子体中的极紫外辐射传输。
机译:基于辐射流体动力学模型的激光产生锡等离子体的EUV辐射演化分析
机译:Nd:YAG激光产生的微滴锡等离子体辐射传输和光学深度缩放
机译:高度集成模型作为用于模拟EUV应用中激光产生的等离子体的流体动力学,辐射传输和热传导现象的仪器。