一种基于波纹管微结构的全柔性电容式三维力触觉传感器

摘要

一种基于波纹管微结构的全柔性电容式三维力触觉传感器，包括绝缘材料的半球形中空触头、导电材料的柔性圆形公共电极、空气腔、导电材料的柔性激励电极和绝缘材料的柔性基底；空气腔为带波纹管结构的“沙漏型”空气腔，形成于半球形中空触头中，内部填充空气；柔性基底整体呈边缘带凹陷的圆形薄片，与半球形中空触连接形成“圆帽型”结构；四个柔性扇形激励电极均通过一根导线引出作为一个激励端；柔性圆形公共电极镶嵌在带波纹管结构的“沙漏型”空气腔上部，柔性圆形公共电极通过导线引出构成公共电极；柔性圆形公共电极与柔性扇形激励电极构成四个呈空间立体分布的电容。本发明的传感器具有更高的检测灵敏度及更快的响应速度。