一种氧化钇稳定的氧化锆非平衡四方相的低温化制备方法

摘要

一种氧化钇稳定的氧化锆非平衡四方相的制备方法，包括：将氧化钇稳定的氧化锆置入腔室中的靶材托上，并将所述腔室抽真空；将Al2O3基底处理后置入所述腔室，并将所述腔室抽真空；将所述腔室内的所述Al2O3基底加热至第一预设温度后，通入氧气，并将腔室内的压强维持在第一预设压强范围内；开启激光器进行薄膜沉积；沉积后以第一预设速率对所述腔室降温，降温至第二预设温度后，得到沉积于所述Al2O3基底上的具有多畴结构的氧化钇稳定的氧化锆非平衡四方相薄膜。通过本发明的制备方法，可以在相对较低的温度下获得稳定存在的纳米晶YSZ非平衡四方相。