一种光斑监控方法、系统、暗场缺陷检测设备和存储介质

摘要

本发明提供的光斑监控方法、系统、暗场缺陷检测设备和存储介质，通过获取光斑图像，进而检测光斑图像上多列检测点的光强表征量，其中，同一列的各个检测点沿所述光斑的宽度方向排布，各列检测点沿所述光斑的长度方向排布；根据各个检测点的位置及其光强表征量得到光斑形变的量化指标，光斑形变包括离焦、均匀性和偏转中的至少一个。可见本发明实现了光斑形变成因的量化，有利于协助进行后续的光路调整和变量分析，自动化程度提高了。