一种离子源束流稳定性控制系统及方法

摘要

本发明涉及一种离子源束流稳定性控制系统及方法，其特征在于，包括针阀、气体流量计、驱动电机、束诊元件和控制系统；所述针阀和气体流量计依次设置在离子源气源储气罐出气口与ECR离子源进气口之间的管道上，所述针阀通过机械驱动装置连接所述驱动电机的输出端，所述针阀用于控制所述离子源气源储气罐的出气量，所述气体流量计用于采集所述ECR离子源进气口处的气体流量；所控制系统分别电连接所述气体流量计、驱动电机和束诊元件，所述束诊元件用于测量所述ECR离子源的束流流强，本发明可以广泛应用于离子源技术领域中。